技術(shù)編號：4870400
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種廢水處理方法、以及用于該方法的廢水處理裝置。該廢水處理方法及裝置是把含有氮有機(jī)化合物的廢水，特別是在半導(dǎo)體制造中在溶解清洗光致抗蝕劑所排出的廢水轉(zhuǎn)變成無害的氮?dú)?、二氧化碳等并排出。在從各種化工廠或半導(dǎo)體制造廠等所排出的廢水中含有含氮的有機(jī)化合物，作為其處理方法有焚燒法、利用微生物功能的微生物處理法、及用超臨界水的分解處理法等。所謂焚燒法是在高溫下燃燒廢水，氧化分解處理在廢水中所含的含氮有機(jī)化合物或烴類的方法。通常在廢水中所含的含氮有機(jī)化合物作...
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