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技術(shù)編號：4693706

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本實用新型涉及合成碲化鎘(CdTe)或碲鋅鎘(CdZnTe)多晶料的合成爐，具體是指一種帶有預(yù)測化合物半導(dǎo)體合成裂管實時監(jiān)控裝置的合成爐。制備CdTe和CdZnTe單晶材料首先要解決它們的合成問題，作為高純的半導(dǎo)體原材料，合成過程一般都是在超高純和超高真空的石英管內(nèi)進(jìn)行，合成技術(shù)的關(guān)鍵是避免化合過程中潛熱的劇烈釋放，這種劇烈的放熱反應(yīng)會引起快速溫升而導(dǎo)致的鎘壓升高，最終超過石英管耐壓范圍而破裂。尤其是當(dāng)今HgCdTe紅外焦平面器件對CdZnTe襯底尺寸要求...
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