技術編號：4623984
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，主要用于軟著陸擴散爐。背景技術太陽能是一種潔凈、無污染且可以循環(huán)利用的可再生能源，把太陽能轉(zhuǎn)換為電能的太陽能電池制造技術是有效利用太陽能的一項重要技術。目前，擴散潔凈度要求比較高， 且高溫，因此大多數(shù)器件都是石英材料。而所使用的石英為含硅量為99. 9%以上的高純度材料，且耐1300度以上高溫、耐酸、耐堿，因此一個合格的石英器件所需的制造價很高， 石英制品通常存在易碎的缺點，能夠最大程度的延長石英器件的使用壽命是減少...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。