專利名稱：一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，主要用于軟著陸擴散爐。
背景技術：
太陽能是一種潔凈、無污染且可以循環(huán)利用的可再生能源，把太陽能轉換為電能的太陽能電池制造技術是有效利用太陽能的一項重要技術。目前，擴散潔凈度要求比較高， 且高溫，因此大多數(shù)器件都是石英材料。而所使用的石英為含硅量為99. 9%以上的高純度材料，且耐1300度以上高溫、耐酸、耐堿，因此一個合格的石英器件所需的制造價很高， 石英制品通常存在易碎的缺點，能夠最大程度的延長石英器件的使用壽命是減少石英的損耗，節(jié)約成本的關鍵。而爐門與石英管的硬性接觸容易導致石英管管口出現(xiàn)大量崩點，嚴重的會導致石英管破裂，爐門損壞。

發(fā)明內容
本發(fā)明要解決的技術問題是為了解決現(xiàn)有技術的不足，防止爐門和石英管的硬性接觸，提供了一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置。本發(fā)明解決其技術問題所采用的技術方案是一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置， 用于防止爐門與石英管的硬性接觸，包括爐門、垂直氣缸和氣桿固定缸體可自由移動的水平氣缸，所述垂直氣缸的缸體部位固定在水平氣缸的缸體部位上，垂直氣缸的氣桿與爐門固定，所述水平氣缸與石英管平行設置在同一平面內，位于石英管側的水平氣缸的氣桿上還具有用于限定爐門位置的限位裝置，所述限位裝置包括均套裝在水平氣缸氣桿上的固定塊、滑塊和固定在固定塊和滑塊之間的彈簧，滑塊固定連接在水平氣缸的缸體上，固定塊固定在水平氣缸氣桿上。為了能夠方便固定住限位裝置，所述固定塊兩側面開有兩個采用螺絲鎖緊固定塊的螺孔，固定塊上表面開有一個通孔，所述螺孔與通孔垂直連通。當選擇好固定位置后，只需將螺絲擰入螺孔鎖緊即可。為了便于滑塊和彈簧在氣桿上滑動，但又不至于太松動，所述彈簧的內徑大于水平氣缸氣桿的直徑I 2mm。本發(fā)明的有益效果是，本發(fā)明的一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，通過在控制爐門的水平氣缸的氣桿上裝一個帶有彈簧的限位裝置，限位裝置能限定爐門的位置，給爐門減速，防止爐門與石英管的硬性接觸導致的石英管破裂和爐門損壞的問題。


下面結合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。圖I是本發(fā)明的一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置的較佳實施例的結構示意圖；圖2是本發(fā)明的限位裝置結構示意圖；圖3是本發(fā)明的固定塊的全剖圖。
圖中1.爐門，2.石英管，3.垂直氣缸，4.水平氣缸，5.限位裝置，51.固定塊， 511.螺孔，512.通孔，52.滑塊，53.彈簧，6.螺絲。
具體實施例方式現(xiàn)在結合附圖對本發(fā)明作進一步詳細的說明。這些附圖均為簡化的示意圖，僅以示意方式說明本發(fā)明的基本結構，因此其僅顯示與本發(fā)明有關的構成。如圖I 3所示的本發(fā)明的一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置的較佳實施例，包括爐門I、垂直氣缸3和氣桿固定缸體可自由移動的水平氣缸4,垂直氣缸3的缸體部位固定在水平氣缸4的缸體部位上，垂直氣缸3的氣桿與爐門I固定，水平氣缸4與石英管2平行設置在同一平面內，位于石英管2側的水平氣缸4的氣桿上還具有用于限定爐門I位置的限位裝置5，限位裝置5包括均套裝在水平氣缸4氣桿上的固定塊51、滑塊52和固定在固定塊51和滑塊52之間的彈簧53，滑塊52固定連接在水平氣缸4的缸體上，固定塊51固定在水平氣缸4氣桿上。引入限位裝置5后，通過設置的彈簧53給爐門閉合時起到減速作用，彈簧53采用彈簧鋼材料，彈性好，恢復能力強，這樣就可以防止爐門I與石英管2硬性接觸，導致石英管2管口出現(xiàn)崩點。由于限位裝置5需要一端固定住，為了能夠使得固定方便，易于操作，固定塊51兩側面開有兩個采用螺絲6鎖緊固定塊51的螺孔511，固定塊51上表面開有一個通孔512， 螺孔511與通孔512垂直連通。為了便于滑塊52和彈簧53在氣桿上滑動，但又不至于太松動，彈簧53的內徑大于水平氣缸4氣桿的直徑1mm。彈簧53 —端焊死在固定塊51上，另一端焊死在滑塊52上。以下結合具體調節(jié)過程介紹本發(fā)明，限位裝置5裝在水平氣缸4氣桿上以后，先調整爐門1，把爐門I位置調好后，把固定塊51盡量往水平氣缸4方向推，盡量壓縮彈簧53， 但是同時也要保證爐門I與石英管2良好的閉合，調整好固定塊51位置后，用螺絲6卡死即可。這樣就能夠保證爐門I與石英管2接觸時，能夠充分得到緩沖，防止硬性接觸導致石英管2管口出現(xiàn)崩點，影響石英管2質量和使用壽命。以上述依據(jù)本發(fā)明的理想實施例為啟示，通過上述的說明內容，相關工作人員完全可以在不偏離本項發(fā)明技術思想的范圍內，進行多樣的變更以及修改。本項發(fā)明的技術性范圍并不局限于說明書上的內容，必須要根據(jù)權利要求范圍來確定其技術性范圍。
權利要求
1.一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，用于防止爐門(I)與石英管(2)的硬性接觸，包括爐門(I)、垂直氣缸(3)和氣桿固定缸體可自由移動的水平氣缸(4),所述垂直氣缸(3)的缸體部位固定在水平氣缸(4)的缸體部位上，垂直氣缸(3)的氣桿與爐門(I)固定，所述水平氣缸(4)與石英管(2)平行設置在同一平面內，其特征在于位于石英管(2)側的水平氣缸(4)的氣桿上還具有用于限定爐門(I)位置的限位裝置(5)，所述限位裝置(5)包括均套裝在水平氣缸(4)氣桿上的固定塊(51)、滑塊(52)和固定在固定塊(51)和滑塊(52)之間的彈簧(53)，所述滑塊(52)固定連接在水平氣缸(4)的缸體上，所述固定塊(51)固定在水平氣缸(4)氣桿上。
2.如權利要求I所述的一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，其特征在于所述固定塊 (51)兩側面開有兩個采用螺絲(6)鎖緊固定塊(51)的螺孔(511)，固定塊(51)上表面開有一個通孔(512)，所述螺孔(511)與通孔(512)垂直連通。
3.如權利要求I所述的一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，其特征在于所述彈簧(53) 的內徑大于水平氣缸(4)氣桿的直徑I 2mm。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種擴散爐的柔性密封啟閉裝置，包括爐門、垂直氣缸和氣桿固定缸體可自由移動的水平氣缸，所述垂直氣缸的缸體部位固定在水平氣缸的缸體部位上，垂直氣缸的氣桿與爐門固定，水平氣缸與石英管平行設置在同一平面內，位于石英管側的水平氣缸的氣桿上還具有用于限定爐門位置的限位裝置，限位裝置包括均套裝在水平氣缸氣桿上的固定塊、滑塊和固定在固定塊和滑塊之間的彈簧，所述滑塊固定連接在水平氣缸的缸體上，所述固定塊固定在水平氣缸氣桿上。本發(fā)明通過在控制爐門的水平氣缸的氣桿上裝一個帶有彈簧的限位裝置，限位裝置能限定爐門的位置，給爐門減速，防止爐門與石英管的硬性接觸導致的石英管破裂和爐門損壞的問題。
文檔編號F27B5/04GK102586885SQ20121007486
公開日2012年7月18日 申請日期2012年3月20日 優(yōu)先權日2012年3月20日
發(fā)明者錢杰 申請人:常州億晶光電科技有限公司