技術(shù)編號:4593065
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種多層化合物合成爐裝置,屬于化合物合成設(shè)備領(lǐng)域。技術(shù)背景隨著世界高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的迅速發(fā)展,世界高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)對半導(dǎo)體化合物的需求量 增長迅速,目前半導(dǎo)體化合物的傳統(tǒng)生產(chǎn)方法與工藝存在生產(chǎn)成本高、生產(chǎn)的安全性 差的缺點。特別是受到生產(chǎn)設(shè)備小的制約,無法實現(xiàn)半導(dǎo)體化合物產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),嚴重 阻礙了高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)和微電子光電產(chǎn)業(yè)信息材料事業(yè)的發(fā)展。 發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有技術(shù)的不足而提供一種多層化合物合成爐裝置,其特點 是采用高溫耐火磚作為合成爐的保溫...
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