技術(shù)編號(hào)：4541217
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及硅片加工設(shè)備，提供了一種用于硅片生產(chǎn)的熱交換器清潔裝置，包括循環(huán)水罐，該循環(huán)水罐的出水口通過循環(huán)水進(jìn)水管與熱交換器的物料入口相連通，循環(huán)水進(jìn)水管上設(shè)有循環(huán)泵，循環(huán)水罐的回水口通過循環(huán)水回水管與熱交換器的物料出口相連通；循環(huán)水罐的熱水進(jìn)水口通過熱水進(jìn)水管連通熱水源，熱水進(jìn)水管上設(shè)有熱水泵，循環(huán)水罐的自來水進(jìn)水口連通自來水源，自來水源與循環(huán)水罐之間的管道上設(shè)有第一控制閥；循環(huán)水罐的清洗液入口連通清洗液源，清洗液源與循環(huán)水罐之間的管道上設(shè)有第二控制...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。