技術(shù)編號(hào)：4526497
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是有關(guān)于一種回收裝置，且特別是有關(guān)于一種冷凝回收裝置及具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備。 在半導(dǎo)體工藝或液晶顯示面板的濕式蝕刻工藝中，常需要使用到的工藝設(shè)備為去光刻膠設(shè)備。圖l是現(xiàn)有一種去光刻膠設(shè)備的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)Di，現(xiàn)有去光刻膠設(shè)備ioo 包括三個(gè)腔室110、 120、 130以及藥液回收管路140，其中藥液回收管路140連接腔室110、 120。 腔室110、 120內(nèi)的溫度為高溫(約攝氏80度)，而腔室130內(nèi)的溫度為常溫。待 去光刻膠的基板50會(huì)...
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