專利名稱：冷凝回收裝置及具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明是有關(guān)于一種回收裝置，且特別是有關(guān)于一種冷凝回收裝置及具有冷凝回
收裝置的工藝設(shè)備。 在半導(dǎo)體工藝或液晶顯示面板的濕式蝕刻工藝中，常需要使用到的工藝設(shè)備為去
光刻膠設(shè)備。圖l是現(xiàn)有一種去光刻膠設(shè)備的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)Di，現(xiàn)有去光刻膠設(shè)備ioo 包括三個(gè)腔室110、 120、 130以及藥液回收管路140，其中藥液回收管路140連接腔室110、 120。 腔室110、 120內(nèi)的溫度為高溫(約攝氏80度)，而腔室130內(nèi)的溫度為常溫。待 去光刻膠的基板50會(huì)被依序送至腔室110、腔室120與腔室130內(nèi)，是通過(guò)噴嘴(圖未示) 將去光刻膠液噴于基板50上，以去除光刻膠。 由于去光刻膠液為高揮發(fā)性液體，且腔室110U20內(nèi)的溫度高達(dá)攝氏80度，所以 去光刻膠液被噴入后于腔室110、120會(huì)形成大量的蒸汽。藥液回收管路140可用于將腔室 110、 120內(nèi)的蒸汽抽離，以改善蒸汽外泄的情形并降低飽和蒸汽壓。藥液回收管路140的另 一端連接至廠務(wù)端的冷凝器60，所以腔室110U20內(nèi)的蒸汽會(huì)被抽至廠務(wù)端的冷凝器60。 蒸汽被冷凝器60冷凝后會(huì)被送至廠務(wù)端的回收裝置70，以對(duì)收集到的去光刻膠液進(jìn)行純 化的步驟，達(dá)到回收去光刻膠液的目的。 然而，廠務(wù)端所收集到的去光刻膠液含有大量雜質(zhì)，所以純化的步驟較為復(fù)雜，且 回收效益不彰。此外，因腔室110U20內(nèi)的蒸汽被大量抽離，導(dǎo)致必須不斷補(bǔ)充去光刻膠 液，且由于去光刻膠液的回收效率不佳，所以需補(bǔ)充大量的去光刻膠液，增加工藝成本。另 外，若要節(jié)省去光刻膠液的使用量，則需減少藥液回收管路140的抽氣量。然而，此將導(dǎo)致 腔室110、120內(nèi)充滿大量蒸汽，以致于腔室110、120內(nèi)的零件易受蒸汽影響而受損，而且腔 室110U20內(nèi)的蒸汽容易泄漏出來(lái)，危害工作人員的安全。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提供一種冷凝回收裝置，以提升藥液的回收效率。 本發(fā)明另提出一種具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，以提升藥液的回收效率。 為達(dá)上述優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明提出一種冷凝回收裝置，其包括第一管體及冷凝管，其中冷
凝管配置于第一管體內(nèi)。第一管體具有進(jìn)氣端與出氣端，且第一管體的管壁設(shè)有第一開(kāi)孔、
第二開(kāi)孔與液體回收孔。冷凝管的冷卻劑輸入端與冷卻劑輸出端分別由第一開(kāi)孔與第二開(kāi)
孔穿出第一管體外。冷凝管于第一管體內(nèi)從鄰近第一開(kāi)孔處螺旋彎折至鄰近第二開(kāi)孔處，
以形成螺旋狀冷凝部。此螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，而此預(yù)定方向是從第一
開(kāi)孔指向第二開(kāi)孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變大。
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變小。
背景技術(shù)：
在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向逐漸變小后再逐 漸變大。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一管體為L(zhǎng)型管體，且第一管體包括垂直段與 水平段，其中進(jìn)氣端位于垂直段，而出氣端位于水平段并位于進(jìn)氣端下方。第一開(kāi)孔與第二 開(kāi)孔位于垂直段，而液體回收孔位于水平段。此外，上述的冷凝回收裝置例如還包括擋片， 其設(shè)于水平段的內(nèi)壁，且位于液體回收孔與出氣端之間。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第一管體沿直線延伸，且第一管體的進(jìn)氣端與出 氣端位于同一高度。此外，液體回收孔例如是位于第一開(kāi)孔與第二開(kāi)孔之間。另外，冷凝回 收裝置可還包括二擋片，設(shè)于第一管體的內(nèi)壁。此二擋片其中的一個(gè)位于液體回收孔與出 氣端之間，此二擋片其中的另一個(gè)位于液體回收孔與進(jìn)氣端之間。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括液體回收管，連接液體回收 孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括第二管體，包覆第一管體的 第一開(kāi)孔與第二開(kāi)孔之間的部分，其中第二管體內(nèi)適于通入冷卻劑。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的第二管體的管壁設(shè)有冷卻劑輸入孔與冷卻劑輸出 孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括噴液模塊。此噴液模塊具有 伸入第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將冷卻劑噴至第一管體，且第二管體的管壁設(shè)有冷卻劑 輸出孔。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷凝回收裝置還包括冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(tái)，適于通過(guò) 冷凝管的冷卻劑輸入端提供冷卻劑至冷凝管內(nèi)。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(tái)包含冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺(tái)或冷卻氣 體供應(yīng)機(jī)臺(tái)。 為達(dá)上述優(yōu)點(diǎn)，本發(fā)明另提出一種具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其包括至少一腔 室、藥液回收管路及上述的冷凝回收裝置。腔室內(nèi)適于容納藥液蒸汽，藥液回收管路連接至 腔室，而冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備還包括至少一液體回 收槽，用以接收從液體回收孔流出的藥液。 在本發(fā)明的一實(shí)施例中，上述的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其中冷凝回收裝置 還包括液體回收管，連接于液體回收孔與液體回收槽之間。 在本發(fā)明的冷凝回收裝置中，由于設(shè)在第一管體內(nèi)的冷凝管于第一開(kāi)孔與第二開(kāi) 孔之間形成螺旋狀冷凝部，且螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，所以能有效冷凝藥 液蒸汽，以提升藥液的回收效率。此外，在本發(fā)明的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備中，因?qū)⑸?述的冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上，以在藥液被送回廠務(wù)端之前就對(duì)藥液進(jìn)行 回收，所以能提升藥液回收的效率。 為讓本發(fā)明的上述和其他目的、特征和優(yōu)點(diǎn)能更明顯易懂，下文特舉較佳實(shí)施例， 并配合所附圖式，作詳細(xì)說(shuō)明如下。


圖1是現(xiàn)有一種去光刻膠設(shè)備的示意圖。
圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的示意圖,
圖3是圖2中冷凝回收裝置的示意圖。
圖4是圖3的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖6是圖5的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖8是圖7的冷凝回收裝置的俯視示意圖。
圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖。
圖10是圖9的冷凝回收裝置的側(cè)視示意圖。
附圖標(biāo)號(hào)
50 :基板
60 :冷凝器
70:回收裝置
90 :蒸汽回收裝置
100 :去光刻膠設(shè)備
120、130、210、220、230 :腔室 240 :藥液回收管路
工藝設(shè)備
液體回收槽
300a、300b、400 :冷凝回收裝置
410 :第一管體
411 :進(jìn)氣端
412 :出氣端
413 :第一開(kāi)孔
414 :第二開(kāi)孔
415 :液體回收孔
110 140 200 250 300
310
311
312
313
314
315
316
317
320
321
322
323 330 340 350 352 354
:水平段
,420 :冷凝管 :冷卻劑輸入端 :冷卻劑輸出端 :螺旋狀冷凝部 ,430 :液體回收管 ,440 :擋片
,350b :第二管體
:冷卻劑輸入孔 :冷卻劑輸出孔
360 :噴液模塊
362 :噴嘴
D:預(yù)定方向
具體實(shí)施例方式
圖2是本發(fā)明一實(shí)施例的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備的示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D2，本 實(shí)施例的具冷凝回收裝置的工藝設(shè)備200可為去光刻膠設(shè)備，但不以此為限。此工藝設(shè)備 200包括至少一腔室(在本實(shí)施例中是以多個(gè)腔室210、220、230為例)、藥液回收管路240 及冷凝回收裝置300。腔室210、220、230內(nèi)適于容納藥液蒸汽，藥液回收管路240至少連接 至部分腔室(如連接到腔室210、220)，而冷凝回收裝置300設(shè)于藥液回收管路240的路徑 上。 上述的工藝設(shè)備200可還包括至少一液體回收槽250，而在本實(shí)施例中是以一個(gè) 液體回收槽250為例。此液體回收槽250用以接收在冷凝回收裝置300凝結(jié)成液體的藥液。 此外，藥液回收管路240的末端例如還連接至廠務(wù)端的蒸汽回收裝置90。
在本實(shí)施例的工藝設(shè)備200中，腔室210、220內(nèi)的溫度例如是高溫(如攝氏80 度)，當(dāng)噴嘴將藥液(如去光刻膠液)噴于進(jìn)入腔室210、220內(nèi)的基板(圖未示)時(shí)，由于 藥液具有高揮發(fā)性，所以在高溫下藥液容易形成藥液蒸汽。藥液回收管路240用以將藥液 蒸汽抽離腔室210、220，以改善蒸汽外泄的情形并降低飽和蒸汽壓。 本實(shí)施例的工藝設(shè)備200于藥液回收管路240的路徑上設(shè)置冷凝回收裝置300，以 通過(guò)冷凝回收裝置300來(lái)冷凝從腔室210、220抽出的藥液蒸汽，并通過(guò)液體回收槽250來(lái) 收集冷凝后的藥液。相較于現(xiàn)有技術(shù)，由于本實(shí)施例在藥液蒸汽被送至廠務(wù)端前就進(jìn)行藥 液回收，所以能大幅降低回收的藥液中的雜質(zhì)，進(jìn)而提升藥液回收效率。此外，由于本實(shí)施 例的工藝設(shè)備200的藥液回收效率較高，所以能減少補(bǔ)充新藥液的量，以節(jié)省藥液成本。如 此，不需通過(guò)減少藥液回收管路240的抽氣量來(lái)節(jié)省藥液的使用量，所以能保障工作人員 的安全。 下文將配合圖式來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本實(shí)施例的工藝設(shè)備所使用的冷凝回收裝置300。
圖3是圖2中冷凝回收裝置的示意圖，而圖4是圖3的冷凝回收裝置的俯視示意 圖，其中圖4省略了第一管體的水平段。請(qǐng)參照?qǐng)D3與圖4，上述的冷凝回收裝置300包括 第一管體310及冷凝管320，其中冷凝管320配置于第一管體310內(nèi)。第一管體310具有進(jìn) 氣端311與出氣端312，其中進(jìn)氣端311與出氣端312分別連接于工藝設(shè)備200的藥液回收 管路240 (示于圖2)。此外，第一管體310的管壁設(shè)有第一開(kāi)孔313、第二開(kāi)孔314與液體 回收孔315。 冷凝管320例如是金屬管，其具有冷卻劑輸入端321與冷卻劑輸出端322，其中冷 卻劑輸入端321與冷卻劑輸出端322分別由第一開(kāi)孔313與第二開(kāi)孔314穿出第一管體 310外。另外，冷凝管320于第一管體310內(nèi)從鄰近第一開(kāi)孔313處螺旋彎折至鄰近第二開(kāi) 孔314處，以形成螺旋狀冷凝部323。此螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑沿預(yù)定方向D而改變，而 此預(yù)定方向D是從第一開(kāi)孔313指向第二開(kāi)孔314。 在本實(shí)施例中，螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑例如是沿預(yù)定方向D逐漸變小后再逐漸 變大。但在其他實(shí)施例中，螺旋狀冷凝部323的內(nèi)徑可沿預(yù)定方向D逐漸變大、逐漸變小、或是逐漸變大后再逐漸變小。上述這些實(shí)施例僅為舉例之用，并非用以限定本發(fā)明的螺旋 狀冷凝部的內(nèi)徑變化方式。此外，本實(shí)施例的第一管體310例如為L(zhǎng)型管體，其包括相連的 垂直段316與水平段317，其中進(jìn)氣端311位于垂直段316，而出氣端312位于水平段317 并位于進(jìn)氣端311下方。第一開(kāi)孔313與第二開(kāi)孔314例如是位于垂直段316，而液體回收 孔315例如是位于水平段317。 本實(shí)施例的冷凝回收裝置300可還包括冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(tái)(圖未示)。此冷卻劑供 應(yīng)機(jī)臺(tái)適于通過(guò)冷凝管320的冷卻劑輸入端321提供冷卻劑至冷凝管320內(nèi)。冷卻劑供應(yīng) 機(jī)臺(tái)可為冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺(tái)或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺(tái)。當(dāng)冷凝回收裝置300運(yùn)作時(shí)，冷卻劑可 從冷卻劑輸入端321持續(xù)通入冷凝管320內(nèi)，并從冷卻劑輸出端322流出冷凝管320外。
承上述，當(dāng)藥液蒸汽從第一管體310的進(jìn)氣端311進(jìn)入第一管體310內(nèi)后，冷凝管 320會(huì)與藥液蒸汽進(jìn)行熱交換，以使藥劑蒸汽凝結(jié)成液體。凝結(jié)后的藥液會(huì)從設(shè)于第一管體 310的水平段317的液體回收孔315通過(guò)液體回收管330而流至工藝設(shè)備200的液體回收 槽250內(nèi)，也就是說(shuō)，液體回收槽250用以接收從液體回收孔315流出的藥液。由于冷凝管 320內(nèi)會(huì)持續(xù)通入冷卻劑，所以能提升冷凝管320與藥液蒸汽的熱交換效率，以使大量的藥 液蒸汽凝結(jié)，進(jìn)而提高藥液回收效率。此外，由于冷凝管320在第一管體310內(nèi)彎折形成螺 旋狀冷凝部323，當(dāng)藥液蒸汽經(jīng)過(guò)螺旋狀冷凝部323時(shí)，有較多的藥液蒸汽會(huì)接觸到螺旋狀 冷凝部323，所以能使更多的藥液蒸汽凝結(jié)，如此可進(jìn)一步提升藥液回收效率。
本實(shí)施例的冷凝回收裝置300可還包括擋片340，其設(shè)于第一管體310的水平段 317的內(nèi)壁，且位于液體回收孔315與出氣端312之間。擋片340的設(shè)置可防止被凝結(jié)成液 體的藥液從第一管體310的出氣端312流出。如此，可增加藥液從液體回收孔315流出的 量，進(jìn)而提升藥液回收效率。 圖5是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖6是圖5的冷凝回 收裝置的俯視示意圖，其中圖6省略了第一管體的水平段。請(qǐng)參照?qǐng)D5與圖6，本實(shí)施例的 冷凝回收裝置300a與圖3的冷凝回收裝置300相似，其差別處在冷凝回收裝置300a還包 括第二管體350。第二管體350包覆第一管體310的第一開(kāi)孔313與第二開(kāi)孔314之間的 部分。第二管體350內(nèi)適于通入冷卻劑。更詳細(xì)地說(shuō)，第二管體350的材質(zhì)例如為金屬，且 第二管體350固定于第一管體310。第二管體350的管壁設(shè)有冷卻劑輸入孔352與冷卻劑 輸出孔354，當(dāng)冷凝回收裝置300a運(yùn)作時(shí)，冷卻劑可從冷卻劑輸入孔352持續(xù)通入第二管體 350內(nèi)，并從冷卻劑輸出孔354流出第二管體350外。 在本實(shí)施例的冷凝回收裝置300a中，通入第二管體350內(nèi)的冷卻劑能與第一管體 310進(jìn)行熱交換，以降低第一管體310的管壁的溫度。如此，當(dāng)?shù)谝还荏w310內(nèi)的藥液蒸汽 接觸到第一管體310的管壁時(shí)，因第一管體310的管壁溫度較低，所以能提升第一管體310 的管壁與藥液蒸汽之間的熱交換效果，以使更多的藥液蒸汽凝結(jié)成液體。因此，相較于冷凝 回收裝置300，本實(shí)施例的冷凝回收裝置300a具有更高的藥液回收效率。
圖7是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖8是圖7的冷凝回 收裝置的俯視示意圖，其中圖8省略了第一管體的水平段。請(qǐng)參照?qǐng)D7與圖8，本實(shí)施例的 冷凝回收裝置300b與圖5的冷凝回收裝置300a相似，其差別處在冷凝回收裝置300b還包 括噴液模塊360。此噴液模塊360具有伸入第二管體350b內(nèi)的至少一噴嘴362，在本實(shí)施 例中是以多個(gè)噴嘴362為例。具體而言，第二管體350b包括多個(gè)冷卻劑輸入孔352，而噴嘴362是通過(guò)這些冷卻劑輸入孔352伸入第二管體350b內(nèi)。當(dāng)冷凝回收裝置300b運(yùn)作時(shí)，噴 嘴362用以將冷卻劑噴至第一管體310，且冷卻劑會(huì)從冷卻劑輸出孔354流出第二管體350 外。 與上述的冷凝回收裝置300a相似，由于本實(shí)施例的冷凝回收裝置300b的噴液模 塊360可用以降低第一管體310的管壁的溫度，所以能提升第一管體310的管壁與藥液蒸 汽之間的熱交換效果，進(jìn)而增加藥液回收效率。此外，冷凝回收裝置300a、300b皆可應(yīng)用于 圖2的工藝設(shè)備200，以提升工藝設(shè)備200的藥液回收效率。 圖9是本發(fā)明另一實(shí)施例的一種冷凝回收裝置的示意圖，而圖10是圖9的冷凝回 收裝置的側(cè)視示意圖。請(qǐng)參照?qǐng)D9與圖10，本實(shí)施例的冷凝回收裝置400與圖3的冷凝回 收裝置300相似，主要差別處在于冷凝回收裝置400的第一管體410是沿直線延伸，且第一 管體410的進(jìn)氣端411與出氣端412是位于同一高度。換言之，第一管體410為直線狀管 體，且第一管體410是水平設(shè)置。此外，設(shè)置于第一管體410內(nèi)的冷凝管420其結(jié)構(gòu)與圖3 的冷凝管320相似，在此將不對(duì)冷凝管420進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。另外，第一管體410的液體回收 孔415例如是位于第一開(kāi)孔413與第二開(kāi)孔414之間，且液體回收孔415例如是設(shè)于冷凝 管420下方。液體回收管430的一端連接液體回收孔415，另一端可連接到工藝設(shè)備的液體 回收槽(圖未示)。 本實(shí)施例的冷凝回收裝置400應(yīng)用于工藝設(shè)備時(shí)，冷凝回收裝置400可設(shè)置于藥 液回收管路的水平段。此外，本實(shí)施例的冷凝回收裝置400與圖3的冷凝回收裝置300的 功能及優(yōu)點(diǎn)相似，在此將不再重述。另外，冷凝回收裝置400可還包括設(shè)于第一管體410的 內(nèi)壁的二擋片440。此二擋片440其中的一個(gè)位于液體回收孔415與出氣端412之間，此二 擋片440其中的另一個(gè)位于液體回收孔415與進(jìn)氣端411之間。擋片440的設(shè)置可防止被 凝結(jié)成液體的藥液從第一管體410的出氣端412或進(jìn)氣端411流出，以增加藥液從液體回 收孔415流出的量，進(jìn)而提升藥液回收效率。 值得一提的是，圖5的冷凝回收裝置300a的第二管體350及圖7的冷凝回收裝置 300b的第二管體350b與噴液模塊360都可應(yīng)用于本實(shí)施例的冷凝回收裝置400，以進(jìn)一步 提升冷凝回收裝置400的藥液回收效率。 綜上所述，本發(fā)明的冷凝回收裝置及具有其的工藝設(shè)備至少具有下列優(yōu)點(diǎn)
1.本發(fā)明的工藝設(shè)備將冷凝回收裝置設(shè)于藥液回收管路的路徑上，以在藥液被送 回廠務(wù)端之前就對(duì)藥液進(jìn)行回收。如此，能大幅降低回收的藥液中的雜質(zhì)，所以能提升藥液 回收效率，進(jìn)而節(jié)省藥液成本。 2.在本發(fā)明的冷凝回收裝置中，由于螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，所 以能使較多的藥液蒸汽與接觸到螺旋狀冷凝部，并與螺旋狀冷凝部進(jìn)行熱交換，如此能提 升藥液的回收效率。 雖然本發(fā)明已以較佳實(shí)施例揭示如上，然其并非用以限定本發(fā)明，本發(fā)明所屬技 術(shù)領(lǐng)域中具有通常知識(shí)者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，當(dāng)可作些許的更動(dòng)與潤(rùn)飾，因 此本發(fā)明的保護(hù)范圍當(dāng)視權(quán)利要求所界定者為準(zhǔn)。
權(quán)利要求
一種冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置包括一第一管體，具有一進(jìn)氣端與一出氣端，且該第一管體的管壁設(shè)有一第一開(kāi)孔、一第二開(kāi)孔與一液體回收孔；以及一冷凝管，配置于所述第一管體內(nèi)，且該冷凝管的一冷卻劑輸入端與一冷卻劑輸出端分別由所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔穿出所述第一管體外，其中所述冷凝管于所述第一管體內(nèi)從鄰近所述第一開(kāi)孔處螺旋彎折至鄰近所述第二開(kāi)孔處，以形成一螺旋狀冷凝部，且該螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿一預(yù)定方向而改變，該預(yù)定方向是從所述第一開(kāi)孔指向所述第二開(kāi)孔。
2. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變大。
3. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變小。
4. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿所述 預(yù)定方向逐漸變小后再逐漸變大。
5. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第一管體為L(zhǎng)型管體，且所述 第一管體包括一垂直段與一水平段，所述進(jìn)氣端位于所述垂直段，所述出氣端位于所述水 平段并位于所述進(jìn)氣端下方，所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔位于所述垂直段，所述液體回 收孔位于所述水平段。
6. 如權(quán)利要求5所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一擋片，設(shè)于所述水 平段的內(nèi)壁，且位于所述液體回收孔與所述出氣端之間。
7. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第一管體沿一直線延伸，且所 述第一管體的所述進(jìn)氣端與所述出氣端位于同一高度。
8. 如權(quán)利要求7所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述液體回收孔位于所述第一開(kāi) 孔與所述第二開(kāi)孔之間。
9. 如權(quán)利要求7所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括二擋片，設(shè)于所述第 一管體的內(nèi)壁，且所述擋片其中的一個(gè)位于所述液體回收孔與所述出氣端之間，所述擋片 其中的另一個(gè)位于所述液體回收孔與所述進(jìn)氣端之間。
10. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一液體回收管，連 接所述液體回收孔。
11. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一第二管體，包覆 所述第一管體的所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔之間的部分，其中所述第二管體內(nèi)適于通入 一冷卻劑。
12. 如權(quán)利要求11所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述第二管體的管壁設(shè)有一冷 卻劑輸入孔與一冷卻劑輸出孔。
13. 如權(quán)利要求11所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一噴液模塊，具有 伸入所述第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將所述冷卻劑噴至所述第一管體，且所述第二管體 的管壁設(shè)有一冷卻劑輸出孔。
14. 如權(quán)利要求1所述的冷凝回收裝置，其特征在于，該裝置還包括一冷卻劑供應(yīng)機(jī) 臺(tái)，適于通過(guò)所述冷凝管的所述冷卻劑輸入端提供一冷卻劑至所述冷凝管內(nèi)。
15. 如權(quán)利要求14所述的冷凝回收裝置，其特征在于，所述冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(tái)包含冷卻 液體供應(yīng)機(jī)臺(tái)或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺(tái)。
16. —種具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，該工藝設(shè)備包括 至少一腔室，該腔室內(nèi)適于容納一藥液蒸汽； 一藥液回收管路，連接至所述腔室；一冷凝回收裝置，設(shè)于所述藥液回收管路的路徑上，其中該冷凝回收裝置包括 一第一管體，具有分別連接所述藥液回收管路的一進(jìn)氣端與一出氣端，且所述第一管 體的管壁設(shè)有一第一開(kāi)孔、一第二開(kāi)孔與一液體回收孔；以及 一冷凝管，配置于所述第一管體內(nèi)，且所述冷凝管的一冷卻劑輸入端與一冷卻劑輸出 端分別由所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔穿出所述第一管體外，其中所述冷凝管于所述第一 管體內(nèi)從鄰近所述第一開(kāi)孔處螺旋彎折至鄰近所述第二開(kāi)孔處，以形成一螺旋狀冷凝部， 且所述螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿一預(yù)定方向而改變，該預(yù)定方向是從所述第一開(kāi)孔指向所述 第二開(kāi)孔。
17. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，該工藝設(shè)備還 包括至少一液體回收槽，用以接收從所述液體回收孔流出的藥液。
18. 如權(quán)利要求17所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一液體回收管，連接于所述液體回收孔與所述液體回收槽之間。
19. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變大。
20. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變小。
21. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述螺旋狀冷 凝部的內(nèi)徑沿所述預(yù)定方向逐漸變小后再逐漸變大。
22. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第一管體 為L(zhǎng)型管體，且所述第一管體包括一垂直段與一水平段，所述進(jìn)氣端位于所述垂直段，所述 出氣端位于所述水平段并位于所述進(jìn)氣端下方，所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔位于所述垂 直段，所述液體回收孔位于所述水平段。
23. 如權(quán)利要求22所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一擋片，設(shè)于所述水平段的內(nèi)壁，且位于所述液體回收孔與所述出氣端之間。
24. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第一管體 沿一直線延伸，且所述第一管體的所述進(jìn)氣端與所述出氣端位于同一高度。
25. 如權(quán)利要求24所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述液體回收 孔位于所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔之間。
26. 如權(quán)利要求24所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括二擋片，設(shè)于所述第一管體的內(nèi)壁，且所述擋片其中的一個(gè)位于所述液體回收 孔與所述出氣端之間，所述擋片其中的另一個(gè)位于所述液體回收孔與所述進(jìn)氣端之間。
27. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一第二管體，包覆所述第一管體的所述第一開(kāi)孔與所述第二開(kāi)孔之間的部分， 其中所述第二管體內(nèi)適于通入一冷卻劑。
28. 如權(quán)利要求27所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述第二管體 的管壁設(shè)有一冷卻劑輸入孔與一冷卻劑輸出孔。
29. 如權(quán)利要求27所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收裝置還包括一噴液模塊，具有伸入所述第二管體內(nèi)的至少一噴嘴，以將所述冷卻劑噴至所 述第一管體，且所述第二管體的管壁設(shè)有一冷卻劑輸出孔。
30. 如權(quán)利要求16所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷凝回收 裝置還包括一冷卻劑供應(yīng)機(jī)臺(tái)，適于通過(guò)所述冷凝管的所述冷卻劑輸入端提供一冷卻劑至 所述冷凝管內(nèi)。
31. 如權(quán)利要求30所述的具有冷凝回收裝置的工藝設(shè)備，其特征在于，所述冷卻劑供 應(yīng)機(jī)臺(tái)包含冷卻液體供應(yīng)機(jī)臺(tái)或冷卻氣體供應(yīng)機(jī)臺(tái)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種冷凝回收裝置，包括第一管體及冷凝管，其中冷凝管配置于第一管體內(nèi)。第一管體具有進(jìn)氣端與出氣端，且第一管體的管壁設(shè)有第一開(kāi)孔、第二開(kāi)孔與液體回收孔。冷凝管的冷卻劑輸入端與冷卻劑輸出端分別由第一開(kāi)孔與第二開(kāi)孔穿出第一管體外。冷凝管于第一管體內(nèi)從鄰近第一開(kāi)孔處螺旋彎折至鄰近第二開(kāi)孔處，以形成螺旋狀冷凝部。此螺旋狀冷凝部的內(nèi)徑沿預(yù)定方向而改變，而此預(yù)定方向是從第一開(kāi)孔指向第二開(kāi)孔。此冷凝回收裝置具有較佳的回收效率。此外，本發(fā)明另提出一種具有此冷凝回收裝置的工藝設(shè)備。
文檔編號(hào)F28B1/00GK101701776SQ20091020943
公開(kāi)日2010年5月5日 申請(qǐng)日期2009年10月30日 優(yōu)先權(quán)日2009年10月30日
發(fā)明者林士能, 陳信全 申請(qǐng)人:友達(dá)光電股份有限公司