技術(shù)編號(hào)：4447860
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及光納米壓印用的樹脂模及使用該樹脂模的成型體的制造方 法。更詳細(xì)地講，涉及使用于半導(dǎo)體領(lǐng)域或平板顯示器等領(lǐng)域的、采用光 納米壓印方式制造表面有納米級(jí)凹凸圖案的成型體的樹脂模，而且該樹脂模與成型體具有良好的脫模性；還涉及使用該樹脂模，采用光納米壓印方 式轉(zhuǎn)印凹凸圖案，以高生產(chǎn)效率制造上述成型體的方法。技術(shù)背景迄今，作為半導(dǎo)體領(lǐng)域或平板顯示器領(lǐng)域等中的微細(xì)加工技術(shù)使用光 刻技術(shù)。光刻技術(shù)，首先采用噴霧涂布法、輥式涂布法、旋轉(zhuǎn)涂布等的各 種方法，在硅片、...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。