技術編號：4426445
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。背景技術本發(fā)明一般涉及結構的細微制造。本發(fā)明尤其涉及在基片做圖案以促進結構的形成。細微制造涉及制造非常小的結構，例如，具有微米級或更小的形貌構造(features)的結構。細微制造具有相當大影響的一個領域是在集成電路的加工中。半導體加工工業(yè)一直以來都在不斷努力期望獲得更大的生產率，而同時又增加在基片上每單位面積的電路，所以細微制造的重要性不斷增加。細微制造規(guī)定更強的過程控制，而同時又可使所形成的結構的最小形貌構造的尺寸降低。已應用細微制造而發(fā)展的其它領域包...
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