技術(shù)編號：4384018
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板容器。更具體地說，本發(fā)明涉及包括流體流路的基板容器。背景技術(shù) 總體上，承載器用于在盤片或晶片加工之前、之中或之后，運(yùn)輸和/或儲存批量硅晶片或磁盤。晶片可以加工成集成電路，盤片可以加工成用于計(jì)算機(jī)的磁性存儲盤。這里，術(shù)語“晶片”、“盤片”或“基板”可以相互替換使用，除非另外指出，其中任一術(shù)語都可以指半導(dǎo)體晶片、磁盤、平面基板以及其它此類基板。將晶片盤加工成集成電路板時(shí)通常包含多個(gè)步驟，在其中盤片在不同加工地點(diǎn)加工，并且在加工步驟之間儲存和運(yùn)輸。...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。