技術(shù)編號(hào)：4369486
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型提供一種在半導(dǎo)體及其他應(yīng)用領(lǐng)域中使用的濺射靶材包裝組件，尤其適用不同直徑的各種金屬和非金屬圓形濺射靶材的包裝。背景技術(shù)濺射靶材廣泛應(yīng)用于各種電子薄膜的制備。靶材的尺寸結(jié)構(gòu)通常由濺射機(jī)臺(tái) 決定，各種型號(hào)、不同應(yīng)用的濺射機(jī)臺(tái)決定了靶材尺寸的多祥性。在半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域中，隨著晶圓尺寸不斷増大，4 12英寸生產(chǎn)線所用的靶材包括各種直徑和厚度的圓形金屬或者非金屬塊體。目前，實(shí)際生產(chǎn)中圓形金屬和非金屬濺射靶材普遍采用ー種包裝尺寸由相應(yīng)靶材尺寸決定的包裝盒構(gòu)件包...
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