專利名稱：一種濺射靶材包裝組件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型提供一種在半導(dǎo)體及其他應(yīng)用領(lǐng)域中使用的濺射靶材包裝組件，尤其適用不同直徑的各種金屬和非金屬圓形濺射靶材的包裝。
背景技術(shù)：
濺射靶材廣泛應(yīng)用于各種電子薄膜的制備。靶材的尺寸結(jié)構(gòu)通常由濺射機(jī)臺(tái) 決定，各種型號(hào)、不同應(yīng)用的濺射機(jī)臺(tái)決定了靶材尺寸的多祥性。在半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域中，隨著晶圓尺寸不斷増大，4 12英寸生產(chǎn)線所用的靶材包括各種直徑和厚度的圓形金屬或者非金屬塊體。目前，實(shí)際生產(chǎn)中圓形金屬和非金屬濺射靶材普遍采用ー種包裝尺寸由相應(yīng)靶材尺寸決定的包裝盒構(gòu)件包裝。這種包裝部件通常是由包裝盒I、泡沫襯底2、泡沫襯圈3、厚度調(diào)節(jié)泡沫板4，完成內(nèi)包裝的濺射靶材和泡沫蓋板5幾部分組件組成，如圖I所示。此種包裝盒構(gòu)件在包裝不同直徑的濺射靶材時(shí)，要更換內(nèi)部的泡沫襯板甚至包裝盒，因此包裝エ序就要為不同尺寸的靶材貯備大量的泡沫襯板甚至包裝盒，這樣既需要大量的空間又為濺射靶材的包裝生產(chǎn)帶來(lái)不便，降低了靶材的生產(chǎn)效率。

實(shí)用新型內(nèi)容為了克服現(xiàn)有的不同尺寸圓形濺射靶材包裝需要更換不同泡沫襯板甚至包裝盒的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型提供了ー種濺射靶材包裝組件，該包裝組件通過(guò)調(diào)節(jié)內(nèi)部墊板可以包裝一定直徑范圍的不同尺寸的濺射靶材，降低包裝盒的貯備空間，提高濺射靶材包裝效率。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案如下本實(shí)用新型ー種濺射靶材包裝組件，同樣采用分體包裝組件，該濺射靶材包裝組件包括包裝盒、泡沫襯角、襯角連接板、直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組、厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組和泡沫蓋板六個(gè)部分，直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組分別由多個(gè)泡沫板組成，其中，在包裝盒內(nèi)部設(shè)置泡沫襯角，用襯角連接板連接支撐泡沫襯角，泡沫襯角及襯角連接板形成的空間內(nèi)設(shè)置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組，厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組泡沫板的具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定，完成內(nèi)包裝的濺射靶材放置在厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組之上，在泡沫襯角及完成內(nèi)包裝的濺射靶材之間設(shè)置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組，包裝盒內(nèi)部最上方設(shè)置泡沫蓋板。直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組泡沫板的個(gè)數(shù)設(shè)置以完成內(nèi)包裝的濺射靶材在包裝盒中和泡沫襯角中沒有可活動(dòng)間隙為準(zhǔn)。泡沫襯角放置在方形包裝盒內(nèi)部的四個(gè)角上。所能包裝的濺射靶材的最大外徑不能大于厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的最大外徑，所能包裝的濺射靶材的最小直徑不能小于厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的最小直徑；濺射靶材厚度不能大于泡沫襯角減去最薄厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的厚度。本實(shí)用新型的有益效果增減直徑方向的泡沫調(diào)節(jié)墊組和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組個(gè)數(shù)本實(shí)用新型可以對(duì)不同尺寸規(guī)格的圓濺射靶材進(jìn)行有效包裝，避免運(yùn)輸過(guò)程中的損害；同時(shí)簡(jiǎn)化了更換包裝襯板泡沫エ序，大大提高了濺射靶材的包裝效率。
圖I為一般常用濺射靶材包裝構(gòu)件拆分立體圖。圖2為本實(shí)用新型的拆分立體圖。圖3為本實(shí)用新型的部分構(gòu)件立體圖。圖4為圖2包裝組件組裝后放置較小尺寸濺射靶材的立體示意圖。圖5為圖2包裝組件組裝后放置較大尺寸濺射靶材的立體示意圖。圖中標(biāo)號(hào)圖I中I.包裝盒，2.泡沫襯底，3.泡沫襯圈4.厚度調(diào)節(jié)泡沫板，5.完成內(nèi)包裝的濺射靶材，6.泡沫蓋板。 圖2中6.包裝盒，7.泡沫襯角，8.襯角連接板，9.直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組，10.厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組，11.泡沫蓋板，12.完成內(nèi)包裝的濺射靶材。圖3，圖4，圖5中的標(biāo)號(hào)和圖2中相同。
具體實(shí)施方式
下面的實(shí)施例可以使本專業(yè)技術(shù)人員更全面的理解本實(shí)用新型，但不以任何方式限制本實(shí)用新型。通常圓形濺射靶材的中包裝步驟首先在包裝盒I內(nèi)部依次放置泡沫襯底2、所要包裝濺射靶材尺寸相適應(yīng)泡沫襯圈3和厚度合適的厚度調(diào)節(jié)泡沫板4，然后把完成內(nèi)包裝的濺射靶材5放入泡沫襯圈中，最后加蓋泡沫蓋板6關(guān)閉包裝盒粘貼標(biāo)識(shí)完成包裝。此種包裝組件在包裝不同尺寸的濺射靶材，對(duì)應(yīng)的泡沫襯圈3和厚度調(diào)節(jié)泡沫墊4不同，包裝操作人員必須針對(duì)不同尺寸靶材進(jìn)行選擇匹配，同時(shí)泡沫襯板和包裝箱分別存放，大大增加了存儲(chǔ)空間，使用這種包裝組件包裝増加了工作難度，降低了工作效率，同時(shí)也浪費(fèi)了存儲(chǔ)空間。采用本實(shí)用新型對(duì)圓形濺射靶材中包裝步驟首先在包裝盒6內(nèi)部依次放置4個(gè)泡沫襯角7用襯角連接板8連接支撐泡沫襯角7，然后放置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10中的泡沫板，具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定，放置完成內(nèi)包裝的濺射靶材后在靠近泡沫襯角4個(gè)位置內(nèi)側(cè)放置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9，直到靶材在包裝盒中和泡沫襯角7中沒有可活動(dòng)間隙，最后加蓋泡沫蓋板，關(guān)閉包裝盒6，貼標(biāo)識(shí)完成包裝。本實(shí)用新型可以包裝直徑Dl到D4，厚度尺寸小于hl-h3(h3 >h4)的一系列濺射靶材，在存儲(chǔ)是泡沫襯板可以放置在包裝盒中大大節(jié)省的存儲(chǔ)空間，同時(shí)在包裝エ序中方便了操作，節(jié)約了包裝時(shí)間，提高了工作效率。本實(shí)用新型提供的濺射靶材包裝組件包括包裝盒6、泡沫襯角7、襯角連接板8、直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9、厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組10和泡沫蓋板11六個(gè)部分，直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組10分別由多個(gè)泡沫板組成，其中，在包裝盒6內(nèi)部設(shè)置泡沫襯角7，用襯角連接板8連接支撐泡沫襯角7，泡沫襯角7及襯角連接板8形成的空間內(nèi)設(shè)置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組10，完成內(nèi)包裝的濺射靶材放置在厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組10之上，在泡沫襯角7及完成內(nèi)包裝的濺射靶材之間設(shè)置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9，包裝盒6內(nèi)部最上方設(shè)置泡沫蓋板11。如圖2所示。[0023]具體敘述如下實(shí)施例1，如圖2中包裝盒6內(nèi)長(zhǎng)與寬b = 500mm，包裝盒內(nèi)高度h = 70mm ;厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10最大外徑D4 = 430mm、最小外徑Dl = 330mm，4片厚度分別為h3 = 20，h3 = 20,h4 = 10和h4 = IOmm ;直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9的泡沫墊板高度hi = 80mm,對(duì)應(yīng)直徑D2 = 390mm和D3 = 41 Omm即調(diào)節(jié)板厚度為30mm, 10mm和10mm ;襯角高度hi = 80mm,b4 = 155mm, b5 = 120mm,內(nèi)圓半徑R2 = 215mm,連接狹縫厚度3mm ;用襯角連接板8弧長(zhǎng)投影長(zhǎng)度b3 = 210mm,厚度為3mm,對(duì)應(yīng)直徑D5 = 435mm ;泡沫 蓋板11邊長(zhǎng)b2 = 500mm,h2 = 20mm ;把以上尺寸的包裝盒6內(nèi)部依次放置4個(gè)泡沫襯角7用襯角連接板8連接支撐泡沫襯角7，然后放置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10中的泡沫板，具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定，放置完成內(nèi)包裝的濺射靶材12后在靠近泡沫襯角4個(gè)位置內(nèi)側(cè)放置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9，直到靶材在包裝盒中和泡沫襯角7中沒有可活動(dòng)間隙，即可以包裝濺射靶材直徑范圍325mm-425mm,厚度10mm-50mm的圓形祀材,基本可以覆蓋6-8英寸生產(chǎn)線的圓形片祀包裝如圖4，圖5所示，其中圖4可包裝尺寸直徑較小靶材，圖5為可包裝尺寸直徑較大靶材。實(shí)施例2，如圖2中包裝盒6內(nèi)長(zhǎng)與寬b = 400mm，包裝盒內(nèi)高度h = IOOmm ;厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10最大外徑D4 = 300mm、最小外徑Dl = 180mm，4片厚度分別為h3 = 30，h3 = 20, h4 = 20mm和h4 = IOmm ;直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9的泡沫墊板高度hi = 80mm,對(duì)應(yīng)直徑D2 = 220mm和D3 = 260mm即調(diào)節(jié)板厚度為20mm, 20mm和20mm ;襯角高度hi =80mm, b4 = 160mm, b5 = 120mm,內(nèi)圓半徑R2 = 150mm,連接狹縫厚度3mm ;用襯角連接板8弧長(zhǎng)投影長(zhǎng)度b3 = 160mm,厚度為3mm,對(duì)應(yīng)直徑D5 = 305mm ;泡沫蓋板11邊長(zhǎng)b2 = 400mm,h2 = 20mm ;把以上尺寸的包裝盒6內(nèi)部依次放置4個(gè)泡沫襯角7用襯角連接板8連接支撐泡沫襯角7，然后放置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10中的泡沫板，具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定，放置完成內(nèi)包裝的濺射靶材后在靠近泡沫襯角4個(gè)位置內(nèi)側(cè)放置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9，直到靶材在包裝盒中和泡沫襯角7中沒有可活動(dòng)間隙，即可以包裝濺射靶材直徑范圍175mm-295mm,厚度10mm-60mm的圓形祀材,基本可以覆蓋6英寸以下生產(chǎn)線的圓形片革巴包裝。實(shí)施例3，如圖2中包裝盒6內(nèi)長(zhǎng)與寬b = 800mm，包裝盒內(nèi)高度h = 80mm ;厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10最大外徑D4 = 530mm、最小外徑Dl = 500mm，3片厚度分別為h3 = 20，h3 = 20和h4 = IOmm ;直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9的泡沫墊板高度hi = 50mm,對(duì)應(yīng)直徑D2=510mm和D3 = 52Ctam即調(diào)節(jié)板厚度為10mm, ICtam和10mm ;襯角高度hi = 5Ctam, b4 =300mm, b5 = 224mm,內(nèi)圓半徑R2 = 250mm,連接狹縫厚度3mm ;用襯角連接板8弧長(zhǎng)投影長(zhǎng)度b3 = 250mm,厚度為 3mm,對(duì)應(yīng)直徑 D5 = 535mm ;泡沫蓋板 11 邊長(zhǎng) b2 = 800mm, h2 = 20mm ；把以上尺寸的包裝盒6內(nèi)部依次放置4個(gè)泡沫襯角7用襯角連接板8連接支撐泡沫襯角7，然后放置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)組10中的泡沫板，具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定，放置完成內(nèi)包裝的濺射靶材后在靠近泡沫襯角4個(gè)位置內(nèi)側(cè)放置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組9，直到靶材在包裝盒中和泡沫襯角7中沒有可活動(dòng)間隙，即可以包裝濺射靶材直徑范圍495mm-425mm，厚度10mm-30mm的圓形祀材,基本可以覆蓋12英寸生產(chǎn)線的圓形片祀包裝。以上所述，僅為本實(shí)用新型較佳的具體實(shí)施方式
，但本實(shí)用新型的保護(hù)范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本實(shí)用新型揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，可輕易想到的變化或替換，都應(yīng)涵蓋在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。因此，本實(shí)用新型的保護(hù)范圍應(yīng)該以權(quán)利要求的保護(hù)范圍 為準(zhǔn)。
權(quán)利要求1.一種濺射靶材包裝組件，其特征在于該濺射靶材包裝組件包括包裝盒￠)、泡沫襯角⑵、襯角連接板⑶、直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(9)、厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(10)和泡沫蓋板(11)六個(gè)部分，直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(9)和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(10)分別由多個(gè)泡沫板組成，其中，在包裝盒(6)內(nèi)部設(shè)置泡沫襯角(7)，用襯角連接板(8)連接支撐泡沫襯角(7)，泡沫襯角(7)及襯角連接板(8)形成的空間內(nèi)設(shè)置厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(10)，完成內(nèi)包裝的濺射靶材放置在厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(10)之上，在泡沫襯角(7)及完成內(nèi)包裝的濺射靶材之間設(shè)置直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(9)，包裝盒￠)內(nèi)部最上方設(shè)置泡沫蓋板(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組(10)泡沫板的具體個(gè)數(shù)視包裝靶材厚度而定。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組泡沫板的個(gè)數(shù)設(shè)置以完成內(nèi)包裝的濺射靶材在包裝盒中和泡沫襯角(7)中沒有可活動(dòng)間隙為準(zhǔn)。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于所能包裝的濺射靶材的最大外徑不能大于厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的最大外徑。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于所能包裝的濺射靶材的最小直徑不能小于厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的最小直徑。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于濺射靶材厚度不能大于泡沫襯角減去最薄厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組的厚度。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的濺射靶材包裝組件，其特征在于泡沫襯角(7)放置在方形包裝盒內(nèi)部的四個(gè)角上。
專利摘要本實(shí)用新型公開了適用不同直徑的各種金屬和非金屬圓形濺射靶材的包裝技術(shù)領(lǐng)域的一種在半導(dǎo)體及其他應(yīng)用領(lǐng)域中使用的濺射靶材包裝組件。該濺射靶材包裝組件包括包裝盒、泡沫襯角、襯角連接板、直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組、厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組和泡沫蓋板六個(gè)部分，直徑方向泡沫調(diào)節(jié)墊組和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組分別由多個(gè)泡沫板組成。增減直徑方向的泡沫調(diào)節(jié)墊組和厚度方向泡沫調(diào)節(jié)墊組個(gè)數(shù)本實(shí)用新型可以對(duì)不同尺寸規(guī)格的圓濺射靶材進(jìn)行有效包裝，避免運(yùn)輸過(guò)程中的損害；同時(shí)簡(jiǎn)化了更換包裝襯板泡沫工序，大大提高了濺射靶材的包裝效率。
文檔編號(hào)B65D85/58GK202529378SQ201220088990
公開日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者何金江, 董亭義, 郭維 申請(qǐng)人:北京有色金屬研究總院, 有研億金新材料股份有限公司