技術(shù)編號：4356420
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及高精密薄片的搬運(yùn)抓取，尤其是非接觸式搬運(yùn)氣爪技木，具體地說是旋回流和伯努力原理的復(fù)合型氣動非接觸式氣爪。背景技術(shù)隨著信息產(chǎn)業(yè)制造技術(shù)的發(fā)展，液晶玻璃基板和多晶硅晶片的尺寸變的越來越大。傳統(tǒng)搬運(yùn)技術(shù)中，由于玻璃基板與滾輪、晶片與吸盤進(jìn)行接觸，玻璃基板和晶片表面不可避免地會受到損傷而影響產(chǎn)品的品質(zhì)質(zhì)量，造成次品率高。為克服傳統(tǒng)搬運(yùn)技術(shù)的缺點(diǎn)， 目前的主流技術(shù)是非接觸式搬運(yùn)。但現(xiàn)有技術(shù)中的非接觸式搬運(yùn)機(jī)構(gòu)仍然普遍存在耗氣量大、吸附力小、吸附不穩(wěn)定以及剪...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。