技術(shù)編號：4345652
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種材料供給裝置。為達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種將材料從第一腔室經(jīng)由第二腔室而供給至第三腔室的材料供給裝置，其上設(shè)置有在所述第一腔室和第二腔室之間的第一閥，該第一閥處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)保持該第一腔室和第二腔室之間的氣密性；在所述第二腔室和第三腔室之間設(shè)置有第二閥，該第二閥處于關(guān)閉狀態(tài)時(shí)保持該第二腔室和第三腔室之間的氣密性；還設(shè)置有當(dāng)所述第一閥在保持所述第一腔室和第二腔室之間的氣密性之前，用于防止材料從所述第一腔室向第二腔室移動(dòng)的第三閥。在本發(fā)明中，材料...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲(chǔ)備，不適合論文引用。