技術(shù)編號(hào)：4230331
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種 。 背景技術(shù)目前的基板制造需要經(jīng)過(guò)多道工序，且各道工序的加工地點(diǎn)各不相同。加工過(guò)程中，基板在不同的工序之間流動(dòng)時(shí)，需要使用基板傳送系統(tǒng)。請(qǐng)參閱圖1，圖1是一種現(xiàn)有基板傳送系統(tǒng)的俯視圖?，F(xiàn)有基板傳送系統(tǒng)包括第一基板處理平臺(tái)40和第二基板處理平臺(tái)41、基板轉(zhuǎn)送平臺(tái)42、基板橫移平臺(tái)43、基板出口平臺(tái)44和真空吸附式裝置45。其中，基板轉(zhuǎn)送平臺(tái)42包括第一滾輪傳送機(jī)構(gòu)421，基板橫移平臺(tái)43包括第二滾輪傳送機(jī)構(gòu)431和軌道432，基板出口平臺(tái)44...
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