技術(shù)編號：4178494
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及基板輸送機構(gòu)、具有該基板輸送機構(gòu)的基板輸送裝置、基板輸送機構(gòu)的顆粒除去方法、基板輸送裝置的顆粒除去方法、實施該方法用的程序、以及存儲介質(zhì)，特別是涉及為了實施成膜工藝、蝕刻工藝等的處理，將該基板輸送到規(guī)定的位置的基板輸送機構(gòu)及具有該基板輸送機構(gòu)的基板輸送裝置、基板輸送機構(gòu)的顆粒除去方法、基板輸送裝置的顆粒除去方法、實施該方法用的程序、以及存儲介質(zhì)。背景技術(shù) 迄今，作為對基板進(jìn)行離子摻雜、成膜、蝕刻等各種等離子體處理的基板處理系統(tǒng)，已知一種多個基板處...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。