技術編號：4175581
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及用于例如光掩模、掩模以及晶圓等易碎裝置的存儲、運 輸、運送以及處理的容器；具體地，本發(fā)明涉及保護裝置、特別是顆粒控 制裝置，該顆粒控制裝置包括用于定位并固定掩模的支撐結構，并且具有 使得掩模的環(huán)境保持清潔的裝置。背景技術在集成電路和其它半導體器件的制造中通常涉及到的其中一個處理 步驟是光刻。廣義地講，光刻包括將專門制備的晶圓表面選擇性地暴露于 輻射源，通過使用圖案模板來形成蝕刻的表面層。通常，圖案模板是掩模， 其是非常平坦的玻璃板，該玻璃板帶有將...
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