技術(shù)編號(hào):40469767
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及太陽(yáng)能電池制造,尤其涉及一種太陽(yáng)能電池鍍膜載板及鍍膜設(shè)備。背景技術(shù)、在太陽(yáng)能電池制造過(guò)程中,需要將待加工的硅片放置在鍍膜載板的托盤(pán)上,然后傳輸裝置將載有硅片的鍍膜載板傳輸至真空腔室內(nèi)進(jìn)行鍍膜工藝。鍍膜載板包括托盤(pán)和框架,目前,如圖所示,現(xiàn)有技術(shù)中一部分托盤(pán)為無(wú)氣孔槽結(jié)構(gòu),這樣導(dǎo)致硅片下方不透氣形成封閉狀態(tài),在真空鍍膜加工過(guò)程中硅片上下兩側(cè)將形成壓強(qiáng)差,硅片下方的殘氣將溢出,不僅使得硅片易產(chǎn)生變形,還對(duì)自動(dòng)化設(shè)備吸取硅片造成不良,降低吸盤(pán)吸取硅片的穩(wěn)定性...
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