技術編號：40404338
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及多晶硅的尾氣回收的，尤其涉及一種反吹系統(tǒng)的。背景技術、在多晶硅生產(chǎn)過程中，尾氣回收是一個重要的環(huán)節(jié)，旨在提高原料的利用率并減少環(huán)境污染。在現(xiàn)有技術中，吸附柱用于回收和凈化尾氣中的有用成分，如氫氣和氯硅烷。然而，隨著吸附劑使用時間的增長，其表面會積累一定量的雜質(zhì)，這會降低吸附效率，因此需要定期進行反吹活化以恢復其性能。、現(xiàn)有的反吹技術中雖然出于能耗考慮和成本問題采用了熱氣反吹和冷氣的技術，但是現(xiàn)有技術中并未考慮到由于熱氣反吹和冷氣所造成的加熱組件損壞等現(xiàn)象發(fā)生。另外，相當部分的反吹技...
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