技術(shù)編號：40401390
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鈮酸鋰涂層及傳感器，特別涉及高壓電性能釩摻雜linbo壓電涂層的制備技術(shù)。背景技術(shù)、能夠高溫、輻照等環(huán)境下長期可靠穩(wěn)定運(yùn)行的超聲波傳感器的開發(fā)，是核電站等特殊應(yīng)用場景實(shí)現(xiàn)應(yīng)力在線監(jiān)測的前提條件。壓電薄膜是超聲波傳感器中最重要的組成部件。壓電薄膜發(fā)射超聲波的能力主要取決于其壓電常數(shù)d。工業(yè)領(lǐng)域常用的超聲波傳感器中，所選用的壓電薄膜材料主要包括鋯鈦酸鉛（pzt）、氧化鋅（zno）、氮化鋁（aln）和鈮酸鋰（linbo）等。、pzt薄膜材料具有優(yōu)異的壓電特性且應(yīng)用廣泛，但其使用溫...
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