技術(shù)編號：40398785
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及太赫茲芯片設(shè)計，尤其涉及一種雙壓點太赫茲芯片、組件及制備方法。背景技術(shù)、隨著太赫茲技術(shù)在無線通訊、雷達(dá)成像等領(lǐng)域的廣泛應(yīng)用，太赫茲單片集成電路芯片獲得了快速的發(fā)展。太赫茲芯片屬于平面集成電路，芯片接口一般采用共面波導(dǎo)(gsg)形式的壓點，g代表地壓點，s代表信號壓點。該壓點用于在片測試及金絲鍵合裝配。、在太赫茲頻段(ghz以上)，用于電性能測試的高頻微波探針結(jié)構(gòu)非常精密，一般探針寬度不超過um，相鄰針間距為um，這樣的設(shè)計可以保證測試探針扎到芯片焊盤路徑上的信號傳輸損...
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