技術(shù)編號：40396668
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，特別是涉及一種混液槽流量控制裝置。背景技術(shù)、在半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備中，清洗設(shè)備迭代更新。非單一化學(xué)品需要現(xiàn)在混液槽中先進(jìn)行混合控溫加熱，化學(xué)品溫度要求從常溫到一百多度不等。、高溫化學(xué)品混合時，混液槽溫度高，熱輻射至周圍的電子控制設(shè)備，會導(dǎo)致流量不穩(wěn)定，出現(xiàn)補(bǔ)液時流量偏差，進(jìn)一步影響到混液槽各混合溶液的濃度，最終影響產(chǎn)品質(zhì)量。、為解決上述問題，需要提出一種新型的混液槽流量控制裝置。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、鑒于以上所述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，本實(shí)用新型的目的在于提供一種混液槽流量控制裝置，用于解決...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。