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太赫茲芯片壓點結構、太赫茲芯片、鍵合方法及電子器件與流程技術資料下載

技術編號:40389936

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本申請屬于太赫茲芯片裝配,尤其涉及太赫茲芯片壓點結構、太赫茲芯片、鍵合方法及電子器件。背景技術、隨著太赫茲技術在無線通訊、雷達、成像系統等領域的廣泛應用,太赫茲單片集成電路芯片獲得了快速的發(fā)展。太赫茲芯片屬于平面集成電路,接口一般采用共面波導(gsg)形式的壓點,g代表地壓點,s代表信號壓點。該壓點用于在片測試及金絲鍵合裝配。、太赫茲單片集成電路芯片的工作頻率大于ghz,一般要求更小的壓點尺寸和更短的壓點間距來適配針間距um的高頻gsg微波探針。然而,發(fā)明人發(fā)現,雖然目前的太赫茲芯...
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