技術(shù)編號：40389624
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請的實施例涉及集成電路器件及其形成方法。背景技術(shù)、半導(dǎo)體集成電路行業(yè)經(jīng)歷了指數(shù)級增長。集成電路材料和設(shè)計的技術(shù)進步已經(jīng)產(chǎn)生了幾代集成電路，其中每一代都比前一代具有更小、更復(fù)雜的電路。在集成電路發(fā)展的過程中，通常是功能密度(即每個芯片區(qū)域的互連器件的數(shù)量)增加了，而幾何尺寸(即可以使用制造工藝產(chǎn)生的最小部件(或者導(dǎo)線))卻減小了。這種按比例縮小的工藝通常通過提高生產(chǎn)效率和降低相關(guān)成本來提供收益。這種縮小也增加了處理和制造集成電路的復(fù)雜性。技術(shù)實現(xiàn)思路、根據(jù)本申請的實施例的一個方面，提供了一...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。