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集成芯片及其形成方法與流程技術資料下載

技術編號:40389456

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本申請的實施例涉及集成芯片及其形成方法。背景技術、現(xiàn)代集成芯片使用廣泛的器件來實現(xiàn)變化的功能。通常,集成芯片包括有源器件和無源器件。有源器件包括晶體管(例如,金屬氧化物半導體場效應晶體管(mosfet)),而無源器件包括電感器、電容器和電阻器。電阻器廣泛用于許多應用中,諸如電阻器-電容器(rc)電路、電源驅(qū)動器、電源放大器、射頻(rf)應用等。技術實現(xiàn)思路、本申請的一些實施例提供了一種集成芯片,包括:薄膜電阻器(tfr)層,位于半導體襯底上面;第一導電結(jié)構(gòu),設置在所述薄膜電阻器層的外部區(qū)域上...
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