技術(shù)編號：40387027
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體襯底材料制造，特別是涉及一種晶片拋邊裝置。背景技術(shù)、磷化銦襯底在射頻器件領(lǐng)域廣泛應(yīng)用，包括高頻高功率器件、光纖通信、無線傳輸和射電天文學(xué)。其制造的射頻器件在衛(wèi)星和雷達(dá)等場景中表現(xiàn)出優(yōu)秀性能，尤其在雷達(dá)和通信系統(tǒng)的射頻前端、寬帶寬電路中具有競爭力，適用于高速數(shù)據(jù)處理和高精度a/d轉(zhuǎn)換。、然而，磷化銦拋邊工序繁瑣，目前主要依靠人工，員工需核對晶片信息后，手持砂紙沿晶片邊緣擦拭，工序耗時且人工進(jìn)行拋邊時容易造成安全隱患。技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是：現(xiàn)有的磷化銦拋邊...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。