技術(shù)編號：40386781
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本申請涉及單晶硅制造，特別是涉及一種坩堝支承組件及單晶爐。背景技術(shù)、單晶硅棒是光伏領(lǐng)域的基礎(chǔ)材料，而cz法是制備單晶硅的主要方法之一。cz法制備直拉單晶硅是將多晶硅料放入石英坩堝中，加熱融化形成硅料熔體，然后經(jīng)過調(diào)溫、引晶、放肩、轉(zhuǎn)肩、等徑、收尾等步驟，最終自熔體液面向上提拉生長出單晶硅棒。、然而，一方面，石英坩堝在長時間處于硅熔點以上的溫度時容易變軟變形，石英坩堝自身也存在一定幾率存在肉眼及測試儀器觀察不到的缺陷或應(yīng)力存在，當(dāng)殘次品石英坩堝投入使用，會存在漏硅的風(fēng)險。硅溶液一旦泄露，會流至...
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