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一種電子器件的制備方法及電子器件與流程技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):40377435

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本申請(qǐng)涉及微電子,尤其涉及一種電子器件的制備方法及電子器件。背景技術(shù)、目前,mems(微機(jī)電系統(tǒng))器件芯片生產(chǎn)工藝中,會(huì)涉及到多種空腔結(jié)構(gòu)。例如:腔體濾波器就是采用諧振腔體結(jié)構(gòu)的微波濾波器,一個(gè)腔體能夠等效成電感并聯(lián)電容,從而形成一個(gè)諧振級(jí),實(shí)現(xiàn)微波濾波功能;電容式麥克風(fēng)核心組成部件是振膜和背板構(gòu)成的腔體,振膜和背板腔體構(gòu)成了平行板電容器,振膜在聲波壓力的作用下會(huì)發(fā)生位移導(dǎo)致電容大小發(fā)生變化,從而將聲音信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào);還有氣體傳感器的體硅空腔結(jié)構(gòu)等。、然而,現(xiàn)有的空腔結(jié)構(gòu)的加工工藝中,腔體...
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