技術(shù)編號：40377248
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本技術(shù)涉及半導(dǎo)體制造，尤其涉及一種凈化臺及加工設(shè)備。背景技術(shù)、凈化臺是半導(dǎo)體生產(chǎn)流程中，某些工藝設(shè)備的組成部分的統(tǒng)稱，能夠?qū)Ω邷禺a(chǎn)品進(jìn)行冷卻和凈化，廣泛應(yīng)用于集成電路、電力電子、太陽能電池的生產(chǎn)等行業(yè)。在半導(dǎo)體和太陽能電池片的制造設(shè)備中，擴(kuò)散設(shè)備、氧化設(shè)備、鍍膜設(shè)備等都包含有凈化臺設(shè)備，能夠?qū)Ω邷禺a(chǎn)品進(jìn)行冷卻和凈化。、目前新型電池對工藝質(zhì)量要求越來越高，有些將原有的豎直插片工藝改為水平插片，轉(zhuǎn)換后同等尺寸的舟載片量會大大降低；為保持產(chǎn)量，會將舟或者舟托的尺寸加大，重量隨之加重?，F(xiàn)有的凈化臺中...
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