技術(shù)編號(hào)：3783756
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種具有點(diǎn)膠功能的工件傳輸裝置，涉及半導(dǎo)體加工制造。該工件傳輸裝置，用于連接工件提供裝置和工件處理裝置。其中，所述工件傳輸裝置包括設(shè)置在所述工件提供裝置和工件處理裝置之間的支撐組件；設(shè)置在所述支撐組件上，用于接受工件提供裝置提供的工件，并將所述工件傳送到所述工件處理裝置的傳動(dòng)組件；設(shè)置在所述支撐組件上、用于為所述傳動(dòng)組件提供傳送動(dòng)力的動(dòng)力組件；設(shè)置在所述傳動(dòng)組件側(cè)，用于對(duì)所述工件進(jìn)行點(diǎn)膠處理的點(diǎn)膠組件。本發(fā)明的技術(shù)方案對(duì)工件采用傳送的方式，另外在...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。