技術(shù)編號：3772759
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及將從涂敷頭的噴嘴噴出的溶液的液滴涂敷到基板上的涂敷裝置。 背景技術(shù)通常，在液晶顯示裝置、半導體裝置的制造工序中，有用于在玻璃基板、半導體晶片等的基板上形成電路圖案的成膜過程。在該成膜過程中，在基板的板面上形成例如取向膜、抗蝕劑等功能性薄膜。在基板上形成功能性薄膜的情況下，有采用噴射(inkjet)方式的涂敷裝置的情況，該噴射方式是將形成該功能性薄膜的溶液從噴嘴噴出并涂敷到基板上的方式。關(guān)于該涂敷裝置，如專利文獻1的記載，具有輸送基板的輸送臺，在該...
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