技術(shù)編號：3768097
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及一種在基板的表面形成涂布膜的技術(shù)，特別是涉及一種在構(gòu)成向下吹風的凈化室內(nèi)，使被涂布面保持向下姿勢的基板的該被形成面上形成的涂布膜加以干燥的技術(shù)。背景技術(shù) 以往，作為將感光性樹脂等的涂布液涂布到硅晶片類基板上的涂布裝置(涂布器)，主要是將涂布液向下滴到基板的中央，接著，通過高速回轉(zhuǎn)基盤，在離心力作用下，使涂布液外展，以在基板表面形成涂布膜的所謂的旋轉(zhuǎn)涂布。此外，近年來，隨著圖型的微細化或液晶顯示裝置等的制造所使用的光掩模的大型化等，希望有形成的涂布...
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