技術(shù)編號(hào)：3759537
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種通過采用一旋涂方法在一基本盤形結(jié)構(gòu)的盤件上形成涂覆膜的裝置。更具體地說，本發(fā)明涉及一種用于供給、移除及清洗在通過采用一旋涂方法執(zhí)行薄膜成形以制造一諸如CD、CD-R或CD-RW之類的CD類盤、一諸如DVD-ROM、DVD-R、DVD-RW或DVD-RAM之類的DVD類盤、一諸如近來正在發(fā)展中的可兼容藍(lán)色激光盤之類的光盤、或者一諸如MO或MD之類的磁光盤時(shí)使用的一掩膜的裝置。背景技術(shù) 旋涂是一種將一液態(tài)材料供應(yīng)給靠近一盤件中心的一部分并轉(zhuǎn)動(dòng)該盤...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。