技術(shù)編號：3745801
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及襯底處理設(shè)備(substrate processing apparatus)和方法,且更明確地說涉及改進(jìn)產(chǎn)品的制造速率的襯底處理設(shè)備和方法。背景技術(shù)用于將密封劑涂布在襯底上的普通襯底處理設(shè)備包含處理框；安置在處理框的一側(cè)上的測試框；安置在處理框上方以支撐待處理的襯底(在下文稱為經(jīng)處理襯底)的處理臺(process stage);安置在測試框上以支撐測試襯底的測試臺；用于在水平移動的同時排放和涂布密封劑的第一和第二分配單元(dispensing u...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。