技術編號：3728804
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及具有高的研磨速度、能夠減少被研磨基板的表面波紋的研磨液組合物。進一步地，本發(fā)明涉及使用該研磨液組合物減少被研磨基板的表面波紋的方法及基板的制造方法。背景技術 硬盤為了減小最小記錄面積、推進高容量化，要求降低磁頭的浮動量。為了降低磁頭的浮動量，需要減少硬盤基板的研磨工序中的短波長表面波紋(波長50～500μm的表面波紋)及長波長表面波紋(波長0.5mm以上的表面波紋)。這里所說的“表面波紋”是指比表面粗糙度波長長的表面凹凸。為了制造這種表面波紋減少...
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