技術(shù)編號:3712135
提示:您尚未登錄,請點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種涂布裝置,其可減少被廢棄的涂布液的量且提高涂布效率。多個(gè)噴嘴包括第一噴嘴群,在主掃描方向上隔開規(guī)定的間隔而排列;以及第二噴嘴群,相對于所述第一噴嘴群而與基板的主面平行且在副掃描方向上隔開間隔而排列。間距調(diào)整機(jī)構(gòu)包括對第一噴嘴群的噴嘴加以保持的滑動(dòng)格,對第二噴嘴群的噴嘴加以保持的滑動(dòng)格,從副掃描方向的一側(cè)抵接于滑動(dòng)格的桿,從副掃描方向的另一側(cè)將滑動(dòng)格向桿賦能的噴嘴賦能機(jī)構(gòu),以及對桿的副掃描方向的位置進(jìn)行調(diào)整的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。專利說明涂布裝置 [...
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