技術(shù)編號：3660288
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及特別用于集成電路、薄膜晶體管、光電轉(zhuǎn)換裝置和感光體等用途的。更詳細地講，本發(fā)明涉及能特別容易地形成優(yōu)良硅膜的高級硅烷組合物及使用該組合物形成優(yōu)良硅膜的方法。在特開平1-29661號公報中，公開了一種使氣態(tài)原料在冷卻的基板上液化吸附后，通過使之與化學活性的原子態(tài)的氫反應而形成硅膜的方法，但是卻有以下問題。即為使原料氫化硅繼續(xù)進行氣化和冷卻，不僅需要復雜裝置，而且膜厚的控制也困難。而且在特開平5-144741號公報和特開平7-267621號公報中，公...
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