技術(shù)編號(hào)：3652716
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及交聯(lián)性彈性體組合物及該由交聯(lián)性彈性體組合物形成的成型品，對(duì)于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的NF3等離子體處理、O2等離子體處理、氟等離子體處理的全部等離子體處理，所述組合物的重量變化小、具有顯著的等離子體耐受性。更具體地說(shuō)，本發(fā)明涉及密封材料。背景技術(shù) 在半導(dǎo)體制造過(guò)程中所進(jìn)行的蝕刻、灰化及化學(xué)氣相沉積(CVD)工序中要使用等離子體裝置。在離子體裝置中，各個(gè)連接部位和可活動(dòng)部位要使用彈性體密封材料來(lái)密封。這些密封材料不僅要具有密封性能，而且根據(jù)微細(xì)化和基板晶...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。