技術(shù)編號(hào):3610525
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)一種含倍半萜的成膜樹脂及其浸沒(méi)式曝光193nm正性光刻膠,其成膜樹脂的分子量為4,000~5,000,000,分子量分布為1.4~2.4;共聚單體主要為下列質(zhì)量百分含量的化合物含天然產(chǎn)物倍半萜的組成單元10%~60%;含酸敏基團(tuán)單體5%~40%;具有疏水性能基團(tuán)的單體2%~40%;其它性能調(diào)節(jié)組分單體1%~20%;含倍半萜單元是指符合化學(xué)通式(Ⅱ)的至少一種化合物;含酸敏基團(tuán)單體是符合化學(xué)通式(Ⅲ)式和(Ⅳ)中的至少一種化合物;所述具有疏水性能基...
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