技術(shù)編號：3545010
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及含金屬的化合物領(lǐng)域，尤其是制備有機金屬化合物領(lǐng)域。背景技術(shù)含金屬的化合物在多種應用中使用，例如催化劑和制備金屬膜的原料。這些化合物的一種用途是在制備電子器件方面，例如半導體。許多半導體材料是以高純金屬有機(有機金屬)化合物采用完善的沉積技術(shù)制備，例如金屬有機氣相外延、金屬有機分子束外延、金屬有機化學氣相沉積和原子層沉積。由于它們與空氣反應、自燃性和/或毒性，許多這些金屬有機化合物或其起始原料的處理面臨了極大挑戰(zhàn)。生產(chǎn)這些有機金屬化合物時必須小心。...
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