技術(shù)編號：3513755
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明是2001年10月5日申請的美國臨時申請60/327499的繼續(xù)，在此將前者全文引用作為參考。2.背景技術(shù)光刻膠是將圖像轉(zhuǎn)移到基底上的光敏膜。它們形成負(fù)或正圖像。將光刻膠涂敷在基底上后，透過有圖案的光罩將涂層暴露在諸如紫外光的活化能源下，在光刻膠涂層中形成潛像。對于活化輻射，光罩有不透明的區(qū)域和透明的區(qū)域，確定了需要轉(zhuǎn)移到下面基底的圖像。通過將光刻膠涂層中的潛像圖案顯影，得到了凸版圖像(relief image)。例如在Deforest，Photor...
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