技術(shù)編號:3486291
提示:您尚未登錄,請點 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ,登陸完成后,請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。進(jìn)而詳細(xì)來說,本發(fā)明涉及作為六氟-l,3-丁二烯的合成原料等有用的 1,2,3,4-四氯六氟丁烷這種,所述六氟-l,3-丁二 烯作為半導(dǎo)體用蝕刻氣體等受到人們的矚目。背景技術(shù)對于鍵合在碳原子上的全部氫原子被氯原子和氟原子取代而成的 1,2,3,4-四氯六氟丁烷,如上述那樣其例如作為六氟-l,3-丁二烯的合成原料 等是重要的化合物,所述六氟-l,3-丁二烯作為半導(dǎo)體用的微細(xì)加工蝕刻氣 體受到人們的矚目。作為1,2,3,4-四氯六氟丁烷的制造方法,...
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