技術(shù)編號(hào)：3481399
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及在液相中由一氯甲硅烷和氨制備三甲硅烷基胺的特殊的方法。本發(fā)明進(jìn)一步涉及可以以有利的方式實(shí)施所述方法的裝置。專利說明[0001]本發(fā)明涉及在液相中由一氯甲硅烷和氨制備三甲硅烷基胺的方法。本發(fā)明進(jìn)一步涉及可以實(shí)施所述方法的裝置。[0002]三甲硅烷基胺(化學(xué)分子式為N(SiH3)3，在本發(fā)明中簡(jiǎn)稱“TSA”)是易變的、無色的、可自燃的和可容易地水解的液體，其具有-105.6°C的熔點(diǎn)和+52°C的沸點(diǎn)。含氮的硅化合物如三甲硅烷基胺是半導(dǎo)體工業(yè)中重要的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。