技術(shù)編號(hào):3474348
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種,包括在反應(yīng)精餾裝置中通過(guò)氯硅烷歧化或反歧化制備硅烷或三氯氫硅的步驟,其特征在于所述歧化或反歧化反應(yīng)采用脂肪胺和芳香胺混合的液體催化劑。采用本發(fā)明的方法,液體催化劑無(wú)需預(yù)處理,且催化劑置換方便,也不會(huì)對(duì)后續(xù)系統(tǒng)造成堵塞,失效后的催化劑回收簡(jiǎn)單,無(wú)液體廢棄物或固體廢棄物產(chǎn)生,清潔環(huán)保;催化歧化或反歧化的轉(zhuǎn)化率高,生產(chǎn)過(guò)程易操作。專(zhuān)利說(shuō)明[0001 ] 本發(fā)明涉及多晶硅制備,具體涉及一種。背景技術(shù)[0002]高純多晶硅材料一直是半導(dǎo)體和光伏產(chǎn)業(yè)...
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