技術(shù)編號：3470638
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。十二商代新戊硅烷的制備方法本發(fā)明涉及在催化劑和高沸點溶劑存在下由全鹵代聚硅烷制備十二鹵代新戊硅烷的方法。可由十二鹵代新戊硅烷(新戊硅烷=四(甲硅烷基)硅烷)制得的硅氫化合物用于在CVD工藝中沉積Si-C。十二鹵代新戊硅烷的制備在例如 WO 20080513281 和 J. horg. Nucl. Chem.，1964， Vol. 26,421-425 中有描述。在WO 20080513281中，六鹵代乙硅烷與作為催化劑的叔胺反應得到含有四(三鹵代甲硅烷基)...
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