技術(shù)編號：3467245
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。 本發(fā)明涉及電極密封結(jié)構(gòu)，具體地，涉及多晶硅氫化爐電極密封結(jié)構(gòu)。 背景技術(shù)目前國內(nèi)外的主流多晶硅生產(chǎn)技術(shù)是改良西門子法，該法通過高溫條件下三氯氫硅和氫氣發(fā)生化學(xué)氣相沉積反應(yīng)得到高純多晶硅，同時產(chǎn)生大量的副產(chǎn)物四氯化硅需循環(huán)利用。在氫化工序中，將四氯化硅送至汽化裝置進(jìn)行汽化，并與氫氣按照一定比例進(jìn)行混合，在規(guī)定溫度和流量下送入氫化爐。在氫化爐內(nèi)，石墨加熱體直立固定在電極上，通過電極對加熱體通電加熱至1150°C以上，在高溫條件下，四氯化硅轉(zhuǎn)化為多晶硅生產(chǎn)所需...
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