技術(shù)編號：3467025
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及多晶硅制造裝置。背景技術(shù)一般而言，高純度多晶硅被廣泛用作具有可在半導(dǎo)體元件或太陽能電池中使用的半導(dǎo)體性質(zhì)的材料或要求高純度的化學(xué)原料，或者工業(yè)用材料，也作為精密功能元件或小型高集成精密系統(tǒng)用配件或材料使用。為了制造這種多晶硅，利用的是硅析出方法，通過對含有精制成極高純度的硅的反應(yīng)氣體進(jìn)行熱分解及/或氫還原反應(yīng)，使娃元素在娃表面持續(xù)析出。 如上所述，為實現(xiàn)用于多種用途的多晶硅的商業(yè)性大量生產(chǎn)，使用了立式反應(yīng)器或流化床反應(yīng)器。但立式反應(yīng)器在因硅析出而...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。