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技術(shù)編號(hào)：3465409

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本發(fā)明涉及將四氯硅烷轉(zhuǎn)換為三氯硅烷的三氯硅烷制造裝置。 背景技術(shù)作為用來制造硅(Si)的原料而使用的三氯硅烷(SiHCl3)可以通過使四氯硅烷 (SiCl4 四氯化硅)與氫反應(yīng)轉(zhuǎn)換來制造。S卩，硅通過基于以下的反應(yīng)式(1) (2)的三氯硅烷的還原反應(yīng)和熱分解反應(yīng)生成。 三氯硅烷通過基于以下的反應(yīng)式(3)的轉(zhuǎn)換反應(yīng)生成。SiHCl3 + H2 — Si + 3HC1...... (1)4SiHCl3 — Si + 3SiCl4 + 2H2...... (2)...
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