技術編號：3460843
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及無機材料制備領域，特別涉及。背景技術液相沉積法是一種重要的制備氧化物薄膜的方法。液相沉積法使用的原料為金屬氟化物的水溶液。在酸性條件下，金屬氟化物緩慢水解，在放置于溶液中的親水性基底的表面直接生長出相應的金屬氧化物薄膜。通過向沉積溶液中添加硼酸溶液或者金屬鋁作為水解產(chǎn)物之一的氟離子的消耗劑，可以使金屬氟化物的水解反應持續(xù)進行。目前，液相沉積法已經(jīng)被成功地應用于Si02、Ti02、SnO2以及Fe、V、Mn、Nb、Zr、N1、Ta等金屬的氧化物薄膜...
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